انحراف سنجی ماره ابزاری قدرتمند برای اندازه گیری نوری غیرمخرب باشد. مزیت اصلی این تکنیک این است که حساسیت کمتری به ارتعاشات مکانیکی دارد. بنابراین به طور گسترده در صنعت چشم پزشکی برای آنالیز آرام استفاده می شود.
انحراف سنجی ماره نتایجی شبیه به روش تداخل سنجی تولید می کند که در آن جسم مورد آزمایش در مسیر یک پرتو همسو و به دنبال آن یک جفت توری در فاصله ای مشخص از یکدیگر، قرار می گیرد. الگوی فریزهای به دست آمده، انحراف ماره، نقشه ای از انحرافات پرتویی مربوط به خواص نوری جسم مورد بررسی است.